L'innovation

Le dispositif développé permet la réalisation de topographie plein champ et sans contact de films minces nanométriques par interférométrie numérique couleur.

Basé sur un arrangement de type interféromètre de Michelson (cf. figure), le dispositif dispose de deux écrans permettant d'obturer alternativement le faisceau issu du miroir ou du substrat.
Les interférences entres les deux ondes générées par réflexion sur la couche mince et le substrat (écran 1 en place, écran 2 enlevé) peuvent être modélisées considérant l'indice (complexe ou non) du film et du substrat.
Les interférences en couleur sont approchées par le modèle développé par l'équipe du LAUM en considérant la mesure des intensités laser obtenues avec le miroir uniquement, en tout pixel du capteur (écran 1 enlevé, écran 2 en place).
Le dispositif permet ainsi de mesurer l'épaisseur de films minces transparents ou légèrement absorbants (épaisseur < 1μm, si on utilise 3 longueurs d'onde Rouge-Vert-Bleu), déposés sur un substrat. Facilement industrialisable, le dispositif assure une mesure sans contact et sans aucun besoin de référence à la surface de l'échantillon.