POLARLUM : Semiconductor defects characterization by polarimetric luminescence analysis - Ouest Valorisation

Offre n°4486

POLARLUM : Semiconductor defects characterization by polarimetric luminescence analysis

L'innovation

The semiconductor industry requires precise characterization of microdefects to ensure quality and reliability of their products.

Strain defects in particular require monitoring, but very small ones are a challenge and the direction of distortion may be complex to map with current techniques.

POLARLUM technology is a patented photonic method enabling mapping of the smallest defects and their direction. It relies on naturally-polarized photoluminescent properties of semiconductors, and an innovative optical system.

Ses bénéfices

  • Very high sensitivity
  • Reproducibility
  • Ease of setup
  • Moderate cost

Ses applications

  • Mapping of semiconductor defects with high sensitivity and new information.
1
Picto fusée
Stade de
développement
  • TRL4 - Validation de la preuve de concept
Picto recherche
Équipe
de recherche

Institut de physique de Rennes

Picto laboratoire
Laboratoire
de recherche

UMR 6251 - IPR

Picto idée
Propriété
intellectuelle associée

FR : FR2110330 - filed on the 09-30-2021
WO

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